新華社北京３月２７日電（顧瑞珍、丁可寧）記者２７日從科技部獲悉，我國“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)進(jìn)入全面實(shí)施階段。
據(jù)介紹，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套先進(jìn)工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進(jìn)口的狀況，帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整。
重大專項(xiàng)是實(shí)現(xiàn)我國中長期科技發(fā)展規(guī)劃的一項(xiàng)重要內(nèi)容，黨中央、國務(wù)院高度重視重大專項(xiàng)的實(shí)施工作，多次召開專門會議研究部署。為此，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)領(lǐng)導(dǎo)小組成立了專項(xiàng)咨詢委員會、專項(xiàng)總體專家組和專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室等機(jī)構(gòu)，規(guī)范了實(shí)施管理辦法。
據(jù)了解，該重大專項(xiàng)面向全國廣泛征集項(xiàng)目，經(jīng)過嚴(yán)格的篩選及“三評兩審”立項(xiàng)程序，目前擬啟動(dòng)５４個(gè)項(xiàng)目，其中裝備整機(jī)１５項(xiàng)、成套工藝１１項(xiàng)、關(guān)鍵材料９項(xiàng)、關(guān)鍵技術(shù)與零部件１１項(xiàng)、前瞻性研究等８項(xiàng)，總投資１８０多億元。
科技部部長萬鋼指出，啟動(dòng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)是發(fā)揮科技支撐作用，促進(jìn)經(jīng)濟(jì)平穩(wěn)較快發(fā)展的重大行動(dòng)，同時(shí)也是充分發(fā)揮科技的重要作用，體現(xiàn)“治本”要求的重要舉措，對提高“擴(kuò)內(nèi)需、保增長”的科技含量，從根本上實(shí)現(xiàn)“調(diào)結(jié)構(gòu)、上水平”的目標(biāo)，推動(dòng)我國經(jīng)濟(jì)盡快走上創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)的發(fā)展軌道，具有重要意義。
據(jù)介紹，該重大專項(xiàng)將陸續(xù)發(fā)布項(xiàng)目指南，以“公開、公平、公正”為原則，有序推進(jìn)立項(xiàng)評審及實(shí)施管理工作。
