新華社北京３月２７日電（顧瑞珍、丁可寧）記者２７日從科技部獲悉，我國“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項進入全面實施階段。
據(jù)介紹，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套先進工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的狀況，帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整。
重大專項是實現(xiàn)我國中長期科技發(fā)展規(guī)劃的一項重要內(nèi)容，黨中央、國務(wù)院高度重視重大專項的實施工作，多次召開專門會議研究部署。為此，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項領(lǐng)導(dǎo)小組成立了專項咨詢委員會、專項總體專家組和專項實施管理辦公室等機構(gòu)，規(guī)范了實施管理辦法。
據(jù)了解，該重大專項面向全國廣泛征集項目，經(jīng)過嚴格的篩選及“三評兩審”立項程序，目前擬啟動５４個項目，其中裝備整機１５項、成套工藝１１項、關(guān)鍵材料９項、關(guān)鍵技術(shù)與零部件１１項、前瞻性研究等８項，總投資１８０多億元。
科技部部長萬鋼指出，啟動“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項是發(fā)揮科技支撐作用，促進經(jīng)濟平穩(wěn)較快發(fā)展的重大行動，同時也是充分發(fā)揮科技的重要作用，體現(xiàn)“治本”要求的重要舉措，對提高“擴內(nèi)需、保增長”的科技含量，從根本上實現(xiàn)“調(diào)結(jié)構(gòu)、上水平”的目標，推動我國經(jīng)濟盡快走上創(chuàng)新驅(qū)動的發(fā)展軌道，具有重要意義。
據(jù)介紹，該重大專項將陸續(xù)發(fā)布項目指南，以“公開、公平、公正”為原則，有序推進立項評審及實施管理工作。
